
| 通道數 |
二、三、四、五、六、七、八通道 |
| 配氣精度 |
±1%F.S. |
| MFC線性度 |
±0.5%F.S. |
|
MFC重復精度 |
±0.2%F.S. |
| 響應時間 |
≤5s |
| 預熱時間 |
≤15min |
| 通道材料 | 316L 不銹鋼 |
| 進出氣口連接氣嘴 |
Φ6/不銹鋼穿板快接頭 |
| 靜密封材料 |
氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠) |
|
工作環境溫度 |
-20℃~55℃ |
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環境濕度 |
(15~85)% RH |
| 續航設計 |
≥8小時(待機) |
| 充電時長 |
≤10小時 |
| 配氣稀釋比 |
可選1000:1、500:1、300:1、100:1,默認為100:1。 |
*具體量程可能會有細微偏差。
*工作在溫度25℃和1013mbar測試數據。